故障檢查問題1泵不旋轉
　　
　　原因：①電機接線錯誤②帶電磁開關等安全回路安裝錯誤③油的粘度變高④異物進入泵內，轉子等發生咬死⑤排放反應性氣體后、泵停止期間反應生成物在泵內積存
　　
　　處理方法：①檢查接線②安全回路符合電機要求③換油④檢修（更換缸體、轉子、蓋板）⑤檢修（清洗泵的內部，除去反應生成物）
　　
　　故障檢查問題2壓力不下降
　　
　　原因：①相對于真空容器的容量、泵的排氣容量小②壓力的測量方法錯誤③真空計不合適④吸氣口的連接管徑細小或管道過長⑤吸氣口的金屬網堵塞⑥油量不到規定值⑦油變質⑧連接泵的管道漏氣⑨沒有使用本公司的純正油⑩油不循環a蓋等零件的油路堵塞b油分配閥故障⑾泵內混入水
　　
　　處理方法：①重新選泵②正確測量壓力③使用與測量壓力范圍相符且校準正確的真空計④采用大于吸氣口徑的管道、縮短與真空容器的距離⑤拆下吸氣口上部的管道，清洗金屬網⑥加油到規定量⑦換油⑧用氦檢漏儀等檢漏機器找出漏孔并堵漏⑨泵維修后換上本公司的純正油⑩維修a清潔油路b檢查維修油分配閥⑾檢查漏水的地方（泵內的冷卻水管、接頭等的檢查、更換）
　　
　　故障檢查問題3有異常音
　　
　　原因：①電機反方向旋轉②節流閥堵塞③起動和停止時有“卡嗒卡嗒”聲④油不循環a蓋等零件的油路堵塞b油分配閥故障⑤冷卻水不流動（沒有流入規定量的冷卻水）
　　
　　處理方法：①重新接線使轉方正確②拆下側面銘牌，洗凈、調整節流閥③泵內葉片暫時不規則運動而產生的現象，沒有特別的問題④維修a清掃油穴b檢查維修油分配閥⑤通入規定的冷卻水流（還不能消異常音的情況，需進行檢、修理）
　　
　　故障檢查問題4泵表面溫度異常高室溫+60℃以上
　　
　　原因：①冷卻水不流動（沒有流入規定量的冷卻水）②高吸氣壓下連續運轉③油量不到規定值（油量少，泵的冷卻效果降低）④吸入氣體溫度高⑤油不循環a蓋板等油路堵塞b油分配閥故障
　　
　　處理方法：①提供規定量的冷卻水流②在高吸氣壓下連續運轉，泵的表面溫度將達一到100℃、沒有特別的問題③油加至規定量④吸氣端安裝氣體冷卻機⑤維修a疏通油路b檢查維修油分配閥
　　
　　故障檢查問題5從排氣口噴出很多油
　　
　　原因：①油超過規定量②在高吸氣壓下連續運轉
　　
　　處理方法：①油減少到規定量②排氣端安裝油霧過濾器
　　
　　故障檢查問題6泵外部漏油
　　
　　原因：①外殼、蓋的O形圈、油封老化②泵長期工作在高壓力狀態下
　　
　　處理方法：①檢查更換O形圈、油封②請選用耐熱密封件
　　
　　故障檢查問題7泵外部漏水
　　
　　原因：①蓋的O形圈、密封墊老化②冷卻水接頭未緊固③螺塞的密封不好
　　
　　處理方法：①檢查更換O形圈、密封墊②檢查并緊固接頭③檢查修理螺塞
　　
　　故障檢查問題8電機的電流值異常
　　
　　原因：①泵內進入異物轉子的負荷增加②轉子、葉片的異常滑動
　　
　　處理方法：①修理，將泵內的異物去除②拆檢、修理泵