日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵一、特性
• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。
• 可在大氣壓下實現操作運行。
• 可實現高極限真空。
• 低振動低噪音。
• 維護周期可通過計時表控制。
日本ULVAC DIS-251渦旋干式真空泵二、應用
• 分析設備
• 氣體回收系統
• 涂料設備
• TMP 前級泵
• 氦滲漏探測器
• 半導體制造工藝
三、規格參數
| 單位 | 50Hz | 60Hz | |
實際抽速 | L/min | 250 | 300 | |
極限壓力 | Pa | 1.6 | ||
馬達 | 單相 |
| 100/115/200/230V, 400W, 4P, 電容啟動運行 | |
| 三相 |
| 200/208/230/380/400/415/460V, 400W, 4P | |
滿載電流 | 單相 | A | 4.8/2.6/2.4 | 4.8/4.3/2.8/2.4 |
| 三相 |
| 1.6/0.9/0.9/1.0 | 1.9/1.9/1.8/1.0 |
重量 | 單相 | kg | 25.0 | |
| 三相 |
| 23.0 | |
進出氣管道直徑 |
| 進氣管KF-25 出氣管 KF-16 | ||
