日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵特長
● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
● 低噪音、低振動
● 優良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
● 選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
日本ULVAC NRL60A/90A/180A干式真空泵用途
◆ 活性氣體（CVD、刻蝕等）
◆ 排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）
◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
◆ 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）
◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣
