羅茨泵與油旋片真空泵、水環泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設計的。
日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵特長
結凈的真空
腔體內沒有潤滑油，對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。
能在高吸入壓強下運轉
選用比標準電機容量大一級的電機，即可實現在高吸入壓強下的運轉。
日本ULVAC NB100A/300A/600A/1200A羅茨泵用途
照明、電子、光學、半導體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設備，CO2激光設備
機 型 | NB100A | NB300A | NB600A | NB1200A | ||
項 目 | ||||||
抽氣速率*3 m3/h（L/min） | 50Hz | 95（1580） | 280（4670） | 500（8330） | 1000（16667） | |
60Hz | 115（1920） | 330（5500） | 600（10000） | 1200（20000） | ||
zui大吸入壓力 Pa （連續運轉時） | 50Hz | 1.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | ||
60Hz | 1.3×103 | 9.3×102 | 1.1×103 | |||
zui大允許壓力差 Pa （排出壓力-吸入壓力） | 50Hz | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | ||
60Hz | 6.7×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | |||
極限壓力 Pa*1 | 4.0×10‐1 | 6.7×10‐1 | ||||
標準粗抽泵 | GLD-N280 VDN301 | VDN401 | VSN1501 VSN2401 | VSN1501 VSN2401 | ||
電 機 | kW （極） *2 *4 | 0.4（2） | 0.75（2） | 2.2（2） | 3.7（2） | |
V-Hz | 380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz | |||||
使 用 油 | ULVOIL® R-4 | |||||
所需油量 L | 0.35 | 0.70 | 1.50 | 1.90 | ||
冷卻水量 L/min*6 | 空 冷 | 2 *5 | 2 | 3 | ||
進水壓力 MPa | － |
| 0.3 |
| ||
進出水壓差 MPa | － | 0.05 | 0.1 | |||
重 量 kg | 24 | 49 | 77.5 | 110 | ||
吸氣口徑 （JIS B 2290） | 相當 VG50 | 相當 VG80 | 相當VG80 | 相當VG100 | ||
排氣口徑 （JIS B 2290） | 相當VF50 | 相當VF80 | 相當VF80 | 相當VF80 | ||
*1 用皮拉尼真空計測量的值，如用麥氏真空計測量，則為4.0×10-2Pa（3.0×10-4Torr），而NB1200A則為6.7×10-2Pa（5.0×10-4Torr）。
*2 電源為AC380V、50Hz、三相。
*3 隨粗抽泵的性能而變化，表中為標準泵的組合的數據。
*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。
*5 對于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa（4Torr）以上進行連續運轉必須用水冷。
*6 冷卻水溫為5～30℃。
