日本ULVAC DA-30D/60S/DAT-50D/100S/DAU-100H膜片型干式真空泵 ULVAC機工生產的系列干式膜片型真空泵，是通過橡膠膜片的往返運動達到真空。 膜片型干式真空泵不同于G系列直聯型油旋片式真空泵，無需油霧過濾，能保持環境清潔， 保養方便。

日本ULVAC DTC-21K/41K/DTC-60/DTC-120膜片型干式特氟龍真空泵 ◇各個接觸排氣氣體的部件都有PTEE制成 ◇適用于腐蝕性氣體或有機溶液 ◇真空度高，能抽至1000Pa

◇潔凈真空 由于無油、不會返流至泵內，因此可以得到潔凈的真空。 ◇低噪音、低振動 渦線管優良的平衡性，降低了噪音和振動。

當真空泵長時間運轉至超過0.1Mpa時，排氣口可能有油霧排出。安裝油霧捕集器(OMT系列)，或油霧分離器(OMT系列)，能減少環境污染。

ULVAC機工的GHD系列直聯型油旋片式真空泵，有以下優良配置：逆流防止閥、氣鎮閥、強制給油和過熱保護裝置。GHD系列真空泵外形小巧、低噪音、低振動，適合于內置式或桌面上使用。